半導(dǎo)體參數(shù)分析儀  ，對(duì)標(biāo)Keithley 4200A-SCS

Tensormeter專為自動(dòng)精密測(cè)量電阻和電壓而設(shè)計(jì)。Tensormeter設(shè)備的特點(diǎn)是其基于集成矩陣開關(guān)的創(chuàng)新靈活架構(gòu)。該開關(guān)矩陣使得測(cè)量不僅限于傳統(tǒng)的四線阻抗測(cè)量，還包括張量測(cè)量、范德堡測(cè)量等，并且使設(shè)備能夠補(bǔ)償自身的漂移、偏移和噪聲，從而實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的穩(wěn)定性。Tensormeter RTM2能夠使用單一設(shè)備實(shí)現(xiàn)電阻張量（縱向和橫向電阻）的自動(dòng)記錄，甚至可以在未加模式的薄膜上進(jìn)行。它結(jié)合了鎖相放大器和源/測(cè)量單元的優(yōu)點(diǎn)，并具有出色的交流和直流性能。其測(cè)量范圍涵蓋從納歐姆到太赫茲，至少有8位數(shù)字的動(dòng)態(tài)范圍。

應(yīng)用領(lǐng)域：
材料研究與表征：固體物理學(xué)；半導(dǎo)體物理學(xué)；磁學(xué)；柔性電子學(xué)；自旋電子學(xué)；新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶圓/器件測(cè)試：微電子器件；存儲(chǔ)器件；晶體管、二極管；LED/OLED；太陽(yáng)能電池；顯示器、TCO（導(dǎo)電氧化物透明電極）；傳感器
優(yōu)勢(shì):

取代了所有用于電性特性測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（例如鎖相放大器、源/測(cè)量單元、數(shù)字萬(wàn)用表）。
通過(guò)集成的矩陣開關(guān)克服了固定4點(diǎn)測(cè)量的局限性。
提供van-der-Pauw和電阻張量測(cè)量的預(yù)設(shè)，并允許用戶進(jìn)行配置。
不需要復(fù)雜的樣品制備（例如光刻結(jié)構(gòu)）。
允許輕松連接到許多不同的測(cè)量設(shè)置（例如探針站、低溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)）。
節(jié)省測(cè)量時(shí)間并提高樣品通過(guò)量。

特點(diǎn):

基于集成切換矩陣的可重新配置設(shè)備架構(gòu)。 8個(gè)用戶定義通道（BNC連接器），其功能（輸入或輸出）可以自由確定。
使用固定連接進(jìn)行傳統(tǒng)的交流和直流四線測(cè)量（Kelvin/霍爾幾何）。
使用一個(gè)設(shè)備進(jìn)行交替連接的交流和直流測(cè)量（van-der-Pauw幾何）。
在無(wú)需光刻圖案的情況下同時(shí)測(cè)量縱向和橫向電阻的精確分離絕對(duì)值。
常見(jiàn)測(cè)量模式的軟件預(yù)設(shè)，但可以切換到用戶需要的任意序列。
基于TCP的通信，易于在任何環(huán)境中集成（例如LabVIEW、C、Python）。

控制軟件用戶界面：

典型測(cè)量示例:

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀在標(biāo)準(zhǔn)幾何形狀（Kelvin和Hall布局）中進(jìn)行超低噪聲和高穩(wěn)定性的交流和直流四線測(cè)量。
在不規(guī)則、非結(jié)構(gòu)化的薄膜樣品上進(jìn)行Van-der-Pauw切換連接的四線測(cè)量。
零偏Hall四線測(cè)量（即使在非結(jié)構(gòu)化樣品上也能精確分離縱向和橫向電阻）。
亞百萬(wàn)分之一相對(duì)電阻變化的測(cè)量。
比率電阻測(cè)量，以消除樣品和器件漂移。

高驅(qū)動(dòng)諧波失真測(cè)量，脈沖和測(cè)量例行程序。

低電阻傳感器和樣品：電阻傳感器的差分輸入噪聲頻譜。超低寬帶和1/f噪聲的交流測(cè)量可精確表征和操作傳感器。

零偏Hall：消除漂移和寄生效應(yīng) 薄膜樣品上Hall測(cè)量的差分輸入噪聲頻譜。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)消除了熱漂移，允許長(zhǎng)時(shí)間積分，并且相比于常規(guī)的4線Hall測(cè)量，靈敏度提高了數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí)。

自旋電子學(xué)：在反鐵磁樣品熱穩(wěn)定期間磁序的喪失在Hall電阻中監(jiān)測(cè)。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)（頂部）清晰顯示了信號(hào)的喪失。相反，在相同樣品的常規(guī)4線Hall測(cè)量中，寄生信號(hào)的貢獻(xiàn)掩蓋了有用的磁化信號(hào)（底部）。

技術(shù)參數(shù)：

電氣規(guī)格

硬件/安裝

產(chǎn)品示意圖：

設(shè)備前面板包括：1. 8個(gè)BNC端口，用于多個(gè)模擬功能：驅(qū)動(dòng)、感測(cè)、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍(lán)色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請(qǐng)勿阻擋）。4. 便于攜帶和機(jī)架安裝的把手。5. 19英寸機(jī)架安裝孔。

設(shè)備后面板包括：6. 2個(gè)BNC端口，用于多個(gè)數(shù)字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險(xiǎn)絲和開關(guān)的主電源插口。9. 設(shè)備信息顯示。10. 冷卻風(fēng)流出口（請(qǐng)勿阻擋）。

貨物清單：

Tensormeter RTM2 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例（無(wú)需驅(qū)動(dòng)程序）
Tensormeter RTM2用戶指南，包括TCP命令、操作參數(shù)指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據(jù)需要提供其他類型）
以太網(wǎng)電纜